光學(xué)輪廓儀依靠高精度光學(xué)成像與干涉測(cè)量技術(shù),完成工件表面粗糙度、微觀形貌、臺(tái)階高度及三維輪廓檢測(cè)。規(guī)范樣品測(cè)試流程,可避免測(cè)量誤差、保護(hù)儀器鏡頭,保證數(shù)據(jù)重復(fù)性與準(zhǔn)確性。
一、樣品前期準(zhǔn)備規(guī)范
樣品表面保持潔凈,去除粉塵、油污、水漬、毛刺及加工碎屑,防止雜質(zhì)遮擋測(cè)量區(qū)域、劃傷光學(xué)鏡頭。
軟質(zhì)材料、易劃傷工件需輕拿輕放,避免表面產(chǎn)生二次劃痕、壓痕,影響真實(shí)形貌數(shù)據(jù)。
不規(guī)則樣品提前做好支撐定位,保證放置平穩(wěn),無(wú)晃動(dòng)、傾斜,杜絕受力變形。
二、測(cè)試環(huán)境規(guī)范
測(cè)試區(qū)域保持平穩(wěn),遠(yuǎn)離震動(dòng)、氣流、強(qiáng)光直射,減少環(huán)境干擾造成條紋抖動(dòng)、成像模糊。
控制環(huán)境溫濕度穩(wěn)定,避免潮濕結(jié)露、灰塵堆積,防止鏡頭污染與光路異常。
測(cè)試臺(tái)面整潔,禁止雜物堆積,預(yù)留操作與移動(dòng)空間。
三、樣品放置與定位規(guī)范
將待測(cè)區(qū)域?qū)?zhǔn)鏡頭中心,合理調(diào)整樣品高度與擺放角度,避開邊緣、形變、缺陷無(wú)效區(qū)域。
薄型、柔性、易變形樣品,采用專用工裝夾具固定,保證表面平整無(wú)拉伸、無(wú)彎曲。
批量測(cè)試時(shí)統(tǒng)一放置基準(zhǔn),保持測(cè)量位置一致,保障數(shù)據(jù)可對(duì)比。
四、儀器操作測(cè)試規(guī)范
開機(jī)完成自檢與基準(zhǔn)校正后,再放置樣品檢測(cè),嚴(yán)禁直接開機(jī)倉(cāng)促測(cè)量。
緩慢調(diào)節(jié)升降行程,控制鏡頭與樣品間距,禁止鏡頭直接接觸樣品表面,防止碰撞損壞光學(xué)部件。
根據(jù)樣品材質(zhì)、表面粗糙度,合理選擇測(cè)量模式、放大倍率與掃描范圍,參數(shù)匹配樣品工況。
掃描過程中禁止觸碰樣品、臺(tái)面及儀器機(jī)身,防止位移造成掃描中斷、輪廓失真。
五、測(cè)試完成后規(guī)范
測(cè)量結(jié)束后先抬升鏡頭,再取下樣品,避免取件剮蹭鏡頭。
及時(shí)清理臺(tái)面殘留雜物,特殊油污、腐蝕性樣品測(cè)試后,對(duì)臺(tái)面進(jìn)行清潔消毒。
整理保存檢測(cè)數(shù)據(jù)、圖譜報(bào)告,分類歸檔;長(zhǎng)時(shí)間不檢測(cè),關(guān)閉光源,儀器待機(jī)或正常關(guān)機(jī)。
六、通用禁忌要求
禁止測(cè)試強(qiáng)腐蝕、強(qiáng)揮發(fā)、尖銳鋒利且無(wú)防護(hù)的樣品,避免腐蝕儀器、劃破光學(xué)鏡片。
嚴(yán)禁超行程、超倍率強(qiáng)行測(cè)量,不隨意修改專業(yè)核心參數(shù)。
樣品存在明顯凸起、異物時(shí),提前預(yù)處理,防止測(cè)量時(shí)頂傷設(shè)備。